「産業の米」と呼ばれ、現代の私たちの生活に欠かせない半導体。
半導体を製造する工程の大事な一部をAGCの素材や技術が支えています。
半導体って何？どこで使われているの？
半導体とは、情報を記憶したり、膨大な数字を計算するなど、多くの情報を処理できる機能を持つものであり、私たちの身近なものに使われています。
例えば、パソコンやスマートフォン、テレビ、冷蔵庫、洗濯機など、ありとあらゆる電子機器に搭載され、飛行機や自動車などの乗り物にも半導体が使われています。
IoT時代と呼ばれる世の中になり、今までよりも多くのものに半導体が使われるようになりました。そのため、半導体市場は急速に拡大しています。
AGCの素材や技術はどこに使われているの？
半導体が完成するまでにいくつか工程がありますが、複数の工程でAGCの素材や技術が使われています。半導体の製造装置用の部材には、AGCの炭化ケイ素や合成石英ガラスが使われています。さらに、半導体を研磨するための研磨剤としてCMPスラリーが使われています。また、高い気密性が要求される特殊な半導体の封止材として、ガラスフリットが使われています。
他にも焼き付けに必要なフォトマスクを作成するときに用いられるブランクスなど、AGCの素材や技術は半導体製造には欠かせないのです。
最新の半導体製造にも、AGCの素材が使われているってほんと？
本当です。半導体が完成するまでの工程を紹介しましたが、近年パソコンやスマートフォンなどの電子機器の高機能化や小型化が進むにつれて、半導体に今までよりも計算処理の高速化、データの大容量化、高集積化などが求められるようになりました。
そのためには、半導体の「回路パターン」と呼ばれる道筋を更に細かくする必要があります。超微細な回路パターンは「7nm※（ナノメートル）世代」と呼ばれ、従来の技術では製造が難しいと言われています。
この超微細な回路パターンを実現できるのが、「EUV露光技術」です。
EUV露光技術では、フォトマスクの原版である「マスクブランクス」にも高度な技術が求められ、EUV露光技術の主要な役割を担う、最も重要な部材の一つです。
AGCでは、「マスクブランクス」を2003年より開発し、「ガラス材料」から「膜材料」までを一貫して手掛ける、世界で唯一のEUVマスクブランクスメーカーとして半導体製造の進化をサポートしています（2021年9月時点）。
※ナノメートルは、1ミリメートルの100万分の１
EUVマスクブランクスを製造するのは難しいの？
EUVマスクブランクスに求められる性能は、異物を限りなくゼロに近づけることと、極限まで平らなことです。東京ドームで例えると、スギ花粉数個以下の異物しか許されません。
また、表面の凹凸は数十マイクロメートル※以下と、非常に高い技術が求められています。そのため、EUVマスクブランクスを製造することは難しいのです。
※マイクロメートルは、1ミリメートルの1000分の1
半導体を製造する工程において、AGCの素材や技術が重要なことがおわかりいただけたでしょうか？私たちの豊かな暮らしを支えるために、AGCはこれからも半導体をサポートします！
