ＡＧＣは、「ガラス材料」から「コーティング」までを一貫して手掛けることができる、世界で唯一のEUVマスクブランクスメーカーです。ＡＧＣのEUVマスクブランクスはガラス材料技術から成膜技術に至るまでの高い技術・品質が総合的に評価されており、複数のロジックおよびメモリー半導体メーカーに採用されています。

<ご参考>

■EUVマスクブランクスについて

EUVマスクブランクスは、低膨張ガラス基板の表面に複数の組成から成る膜を積層したものです。EUVマスクブランクスの表面に半導体チップの回路原版を形成したものがEUVフォトマスクであり、その回路をシリコンウェハ上に転写して半導体チップを形成します。回路の微細化に伴い、EUVマスクブランクスに対する、
・非常に小さなサイズの欠陥を限りなくゼロに近づけること
・非常に高い平坦度であること
といった要求水準は、更に高くなっています。

■AGCエレクトロニクスについて