AGC（AGC株式会社、本社：東京、社長：平井良典）は、当社のフッ素ゴム「AFLAS^®FFKM」シリーズの新たなグレードとして、製造時に乳化剤^*1やフッ素系の重合溶媒^*2を一切使用せずに製造した、「AFLAS^®FFKM」シリーズのSFグレード（以下、「本製品」）を新たに販売します。本製品は、従来品と同等の高い性能を持ちながら、乳化剤のみならずフッ素系の重合溶媒などを使用しないフッ素ゴムへの市場ニーズの高まりに対応したもので、当社独自の革新的なポリマー製造技術(Surfactant-Free & Fluoro Solvent-Free Technology、以下、「本技術」) を用いることにより実現しました。まずは、「AFLAS^®FFKM」シリーズ内の半導体製造装置向け高耐熱グレードへ本技術を適用し、本製品を本年７月から販売します。今後は、「AFLAS^® FFKM」の他グレードにも本技術を展開する予定です。

「AFLAS^®FFKM」は、フッ素ゴムの中でも最高レベルの耐薬品性・耐熱性・耐プラズマ性を持つ産業用ゴムであり、過酷な環境でも劣化しにくい特性を持っています。そのため、半導体製造、石油掘削、ヘルスケアなど、高い耐久性が要求される分野で、シーリング材やO(オー)リングとして幅広く使われています。中でも半導体製造工程の一つであるエッチング工程では、高い耐プラズマ性を有する「AFLAS^®FFKM」が無くてはならない材料として強く支持されています。その劣化しにくい特性からエッチング装置のシーリング材料として使用されており、装置のメンテナンス間隔の大幅な延長および安全性の向上に貢献しています。
従来、高性能なFFKMの製造には、乳化剤やフッ素系の重合溶媒が不可欠とされていました。これは、これら乳化剤や重合溶媒の存在により、フッ素系モノマーの反応性が高まり、高性能なFFKMの製造が可能になるためです。しかし近年、半導体用途を中心に、乳化剤のみならずフッ素系重合溶媒を使用しない製品へのニーズが急速に高まっています。フッ素系以外の乳化剤や重合溶媒を用いた製品も提案されていますが、要求される高い性能を満たすFFKMの実現は困難とされてきました。

当社はこうした市場のニーズに応えるため、長年培ってきた独自の重合技術を応用し、一切の乳化剤およびフッ素系重合溶媒を使用せずに製造できる新技術の開発と量産化に成功しました。これにより、このたび本製品を「AFLAS^®FFKM」のラインナップに追加することが可能となりました。

AGCグループは、企業理念 “Look Beyond” のもと、独自の素材・ソリューションで、いつもどこかで世界中の人々の暮らしを支えることを私たちのパーパスとして掲げています。今後も、高機能・高品質な素材を通じて、安心・安全で持続可能な社会の実現に貢献していきます。

〈注釈〉

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